Visualisierung von Oberflächenstrukturen im Nano-Bereich

Ionenstrahl-Ätzen 1 Ionenstrahl-Ätzen 2 Ionenstrahl-Ätzen 3 Ionenstrahl-Ätzen 4

Mögliche Anwendungsbereiche:

  • Korngrenzen und Walzstrukturen im Nanometerbereich sichtbar machen
  • Einschlüsse, Verunreinigungen oder z.B. beginnende Whisker-Bildung erkennen
  • Exakte Präparation und Identifikation von feinsten Beschichtungen
  • Risse oder Delaminationen im Mikro- und Nanobereich sichtbar herausarbeiten

Ionenstrahl-Ätzen

Bei einer mechanischen Schliffpräparation mit anschließendem Mikro-Polieren ist es nicht zu vermeiden, dass aufgrund der unterschiedlichen Materialhärte Verwischungen entstehen, die eine Untersuchung von Übergangs-Schichten und -Strukturen im Nanometer-Bereich unmöglich machen.

Durch das Ionenstrahl-Ätzen wird Material einer Schliffprobe auf Atomebene abgetragen. Der Ionenstrahl ist computergesteuert, mit integrierter Kamera-Kontrolle, auf einen ausgewählten Oberflächen-Bereich gerichtet. Feinste Verwischungen werden so entfernt und kleinste Details wieder sichtbar.

Anschließend werden diese Flächen z.B. im Raster-Elektronen-Mikroskop (REM) analysiert, um somit Strukturen und Verläufe im Nanometer-Bereich bewerten und dokumentieren zu können.